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平面类光学元件
| 项目 | 指标 |
|---|---|
| 材料 | 玻璃、陶瓷、红外材料等 |
| 尺寸范围 | 50mm~600mm |
| 面形精度 | PV≤30nm，RMS≤5nm |
| 平行度 | ≤2″ |
| 表面粗糙度Rq | ≤0.3nm |
| 表面光洁度 | 20-10 |
| 镀膜范围 | VIS/NIR/IR |
* 注：可以根据客户需求定制
球面类光学元件
| 项目 | 指标 |
|---|---|
| 材料 | 玻璃、陶瓷、红外材料等 |
| 尺寸范围 | 100mm~600mm |
| 面形精度 | PV≤30nm，RMS≤5nm |
| 光轴一致性 | ≤0.01mm |
| 表面粗糙度Rq | ≤0.3nm |
| 表面光洁度 | 20-10 |
| 半径偏差 | 0.05% |
| 镀膜范围 | VIS/NIR/IR |
* 注：可以根据客户需求定制
非球面（自由曲面）类光学元件
| 项目 | 指标 |
|---|---|
| 材料 | 玻璃、陶瓷、红外材料等 |
| 尺寸范围 | 100mm~600mm |
| 面形精度 | PV≤60nm，RMS≤12nm |
| 光轴一致性 | ≤0.01mm |
| 表面粗糙度Ra | ≤0.5nm |
| 表面光洁度 | 20-10 |
| 焦距偏差 | ±0.1% |
| 镀膜范围 | VIS/NIR/IR |
* 注：可以根据客户需求定制
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