技术实力
超精密光学加工
超精密工业母机
自有精密制造
自有精密检测
0.1μm
曲面轮廓检测精度
0.1nm
表面粗糙度检测精度
0.1μm
圆度圆柱度检测精度
0.1μm
激光干涉仪检测精度
自研核心部件
高精密静压滑台
直线精度小于0.0002mm/100mm
高精密静压回转台
回转精度小于0.0002mm
超精密气悬浮转台
回转精度达0.00001mm
高精密静压主轴
回转精度小于0.0002mm
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